扫描电镜 SEM

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扫描电子显微镜JSM-IT300

作者:admin 时间:2017-07-26 来源:http://www.bndtec.com

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JSM-IT300扫描电子显微镜经过改进照射系统、真空系统和信号处理系统,不仅能观察高质量的图像,还能利用触控屏和快速样品台进行高通量的直观操作。

高品质的图像
通过改进电子光学系统,使图像质量更高,成像和分析更快。

减少了充放电现象

新的扫描方式能抑制非导电性样品的荷电效应。

低真空模式(LV)

低真空压力范围从10 Pa 至 650 Pa,拓宽了可以观察的样品材料的范围。
多功能

大型样品室和样品台

能容纳大型、较重的样品,可装载最大尺寸为200 mm(φ)× 80 mm( H)、重达2 kg 的样品。
最佳几何设计的分析接口

多个接口可以安装EDS、EBSD 和WDS 等附件, EDS 和EBSD 处于同一平面,此外,还能安装两个相隔
180 度的EDS 检测器用于高通量的显微分析。

移动迅速的样品台

新开发马达驱动样品台能快速地定位 ( 与其它JEOL 的产品相比快1.5 倍)。

全自动5 轴马达驱动样品台

采用了机械对中、五轴(X、 Y,、Z、T、R) 异步马达控制的样品台,当观察厚样品或当感兴趣区域(ROI)
不在倾斜轴的中心时,可利用标配的计算机控制的全对中倾斜和旋转校正功能。

全新的真空系统
全新的真空系统缩短了样品交换后抽真空的时间,使低真空模式下的信号更好。


直观的操作:

 
触摸屏界面

新设计和开发的图形用户界面(GUI)使操作更加舒适,还能支持触摸屏操作。 用户界面的大小可以调节,因此在分析或数据处理时,可以优化工作空间。
 

 
 
多用户、多任务

多用户登录功能,可用于自定义工作区和样品条件的设置。

支持多语言

用户界面语言可以在日语和英语间切换( 通过图标选择)。

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分辨率 高真空模式 3.0 nm (30 kV) 8.0nm(3.0 kV)  15.0 nm (1.0 kV)  
分辨率 低真空模式 4.0 nm (30 kV BED)
放大倍率 5 ~ 300000 倍
预设倍率 6 档(用户可以设定)
电子枪 可以完全自动和手动调节
加速电压 0.3 kV ~ 30 kV
灯丝 工厂预对中发卡式钨灯丝
束流电流 1 pA ~ 1 μA
低真空压力设定范围※1 10 ~ 650 Pa
聚光镜 高精度变焦聚光镜
物镜 锥形物镜
物镜光阑 3 档 带有XY 微调功能
像散记忆
图像电位移 ±50 μm (WD 10 mm)
自动功能 自动聚焦、
自动亮度/ 衬度、自动消像散
样品交换 打开样品室门进行交换
最大样品尺寸 200 mm 直径 80 mm 高度
(WD10 mm)
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标准菜谱
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直方图显示
测量功能
(两点间距离、平行线间距离、角度、直径等)
3D 测量 有※2
互补色立体图像
图像编辑软件 SMile View™
语言切换 可以在UI 上(日语/ 英语)
图像格式 BMP、TIFF、JPEG
图像自动保存
抽真空系统 完全自动 
TMP:1 台 RP:1 台或者2 台※1
真空模式切换 在操作界面上可以


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